В «Оксифилм» собрана уникальная установка осаждения пленок

Наука     99     пн, 26.03.2018 - 10:10
12 993
Сергей Решетников, руководитель отдела PR и маркетинга
Проектная компания Наноцентра «Дубна» «Оксифилм» представила новую технологию LPMOCVD и продемонстрировала уникальную установку для получения функциональных покрытий, тонкопленочных эпитаксиальных материалов для оптики, электроники, медицинской техники, детекторов, радаров. Компания уже экспортирует свою продукцию в Евросоюз. Функциональные покрытия, тонкие пленки металлов и оксидов приобрела крупная французская компания, специализирующаяся на выпуске информационных систем для авиакосмического, военного и морского применения, радаров, сканеров отпечатков пальцев, медицинского оборудования.
 
В чем преимущества продукции проектной компании перед зарубежными аналогами?
 
Генеральный директор компании «Оксифилм» Илья Садыков: «Наша технология была признана нашими иностранными и российскими коллегами наилучшей, поскольку позволяет получать эпитаксиальные ориентированные кристаллические пленки на обычном форвакуумном насосе. Мы проводим разложение прекурсоров парами воды в газовой фазе и наш процесс полностью безвреден, даже для осаждения сложных покрытий не требует использования дорогостоящего вакуумного оборудования, при этом качество пленок подтверждено методами электронной дифракции, четырехкружной рентгеновской дифракцией, просвечивающей микроскопией высокого разрешения, атомно-силовой микроскопией»
 
Компания разрабатывает собственную установку по нанесению покрытий в реакторе планетарного типа, который должен стать первым подобным реактором такого класса, позволяющим проводить осаждение покрытий толщиной до 5 мкм одновременно на большое количество пластин при стоимости реактора в 4-6 раз меньше, чем у аналогичных реакторов с физическим принципом нанесения (импульсное лазерное осаждение, электронно-лучевое испарение, магнетронное распыление, термическое напыление и др.).
 
Актуальную информацию по проекту можно получить на сайте www.oxyfilm.ru